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產(chǎn)品分類產(chǎn)品
自動化晶圓處理 > 檢查工具 > WPR-單晶圓展示器-旋轉(zhuǎn)
描述
自動單晶圓展示器設(shè)計用于將晶圓呈現(xiàn)給操作員以進行檢查或從晶圓盒中取出晶圓以及用于宏觀檢查應(yīng)用。WPR 可用于晶圓翻轉(zhuǎn)(反轉(zhuǎn))晶圓 180°,用于背面應(yīng)用。專為 ISO 等級 3(FS209E 等級 1)設(shè)計;抗靜電結(jié)構(gòu)。
WPR 的特點:
旋轉(zhuǎn)升降葉片允許從一個操作員位置進行完整的正面和背面晶圓檢查。
規(guī)格
晶圓尺寸76, 100, 150, 200
電源要求220VAC 至 24VDC 3 安培 電源單獨出售
產(chǎn)品尺寸16"寬 x 14"長 x 21"高
重量50磅
附加信息
裝運重量220磅
裝運尺寸15 × 12 × 20 英寸
WPR 可用于晶圓翻轉(zhuǎn)(反轉(zhuǎn))晶圓 180°,用于背面應(yīng)用。專為 ISO 等級 3(FS209E 等級 1)設(shè)計;抗靜電結(jié)構(gòu)